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EUV 光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備,只有 ASML 公司才能生產(chǎn),單臺(tái)售價(jià)約 10 億人民幣,之前三星、臺(tái)積電等公司還要搶著買(mǎi),然而今年半導(dǎo)體形勢(shì)已經(jīng)變了,EUV 光刻機(jī)反而因?yàn)楹碾娞?,臺(tái)積電計(jì)劃關(guān)閉省電。
來(lái)自產(chǎn)業(yè)鏈的消息人士手機(jī)晶片達(dá)人的消息稱,由于先進(jìn)制程產(chǎn)能利用率開(kāi)始下滑,而且評(píng)估之后下滑時(shí)間會(huì)持續(xù)一段周期,臺(tái)積電計(jì)劃從年底開(kāi)始,將部分 EUV 設(shè)備關(guān)機(jī),以節(jié)省 EUV 設(shè)備巨大的耗電支出。

據(jù)了解臺(tái)積電目前擁有大約 80 臺(tái) EUV 光刻機(jī),主要用于 7nm、5nm 及以下的先進(jìn)工藝,今年 9 月份還會(huì)量產(chǎn) 3nm 工藝,都需要 EUV 光刻機(jī),然而隨著 PC、手機(jī)、顯卡等產(chǎn)品的需求下滑,先進(jìn)工藝生產(chǎn)的芯片勢(shì)必會(huì)受到影響。
蘋(píng)果今年的 iPhone 14 Pro 系列的 A16 處理器也沒(méi)有急著上 3nm 工藝,還在用 4nm 工藝,此外蘋(píng)果還因?yàn)?3nm 能效問(wèn)題,取消了初代 3nm 生產(chǎn)芯片的計(jì)劃。
相比之前的 DUV 光刻機(jī),EUV 光刻機(jī)需要使用高能激光器,而且光線會(huì)多次折射導(dǎo)致?lián)p耗極大,早期效率只有 0.02%,現(xiàn)在量產(chǎn)的說(shuō)是可以達(dá)到2% 效率,但也意味著絕大多數(shù)電力都要消耗掉。
EUV 光刻機(jī)生產(chǎn)一天需要 3 萬(wàn)度電左右,一年耗電大約 1000 萬(wàn)度,是十足的電老虎。
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